Inden for områder som optisk inspektion, wafer-metrologi og høj-præcisions CMM-måling bliver subtile magnetfeltforstyrrelser inde i udstyr ofte skjulte faktorer, der underminerer nøjagtigheden. Mange præcisionsinspektionsanordninger er udstyret med gittersensorer, fotoelektriske detektorer, magnetiske skalaer og forskellige meget følsomme optiske komponenter. Selv et ekstremt svagt magnetfelt kan forårsage signalforskydning og billedforvrængning, hvilket i sidste ende fører til forvrængede inspektionsdata. Tidligere blev støbejern og stål bredt brugt til udstyrsbaser i industrien. Sådanne metalliske materialer er i sagens natur magnetiske og har tendens til at bevare restmagnetisme efter bearbejdning og samling. Der kræves derfor ekstra afmagnetiseringsprocedurer, som ikke kun øger omkostningerne, men også ser at afmagnetiseringseffekter forringes under udstyrets drift. Med naturlige ikke-magnetiske egenskaber eliminerer UNPARALLELED®-granitmekaniske dele fundamentalt magnetiseringsinterferens og passer til applikationskravene til forskelligt præcisionsinspektionsudstyr med høj-følsomhed.
Granit er et naturligt silikatkrystallinsk mineral uden magnetiserbare metalliske faser indeni. Uanset om det er under slibning, indstøbning eller langvarig-udstyrsdrift, kan stensubstratet ikke i sig selv magnetiseres og vil ikke bevare den resterende magnetisme. I modsætning til stål og støbejern vil granit ikke inducere magnetiske felter under påvirkning af omgivende elektromagnetiske komponenter såsom motorer og spoler, og vil ikke forstyrre signalopsamlingen ved at registrere enheder inde i udstyret. I scenarier til inspektion af halvlederwaferdefekter, mikro-nanotopografimåling og inspektion af optisk billeddannelse er sensorer ekstremt følsomme over for magnetiske felter. Det ikke-magnetiske substrat sikrer rene og stabile målesignaler, reducerer falske positiver og mistede detektioner og stabiliserer produktudbyttet.
Et almindeligt spørgsmål opstår: vil indlejrede metalindsatser i granitkomponenter introducere magnetisk interferens? Under den integrerede skærbearbejdningsproces udvælger UNPARALLELED® ikke-magnetiske materialer såsom ikke-magnetisk rustfrit stål til indlejrede skær i henhold til udstyrs krav til det elektromagnetiske miljø. Den komplette granitkonstruktion opnår ikke-magnetisk ydeevne for både substrat og indlejrede strukturer. Metalindsatser udfører kun mekanisk forbindelse og lastbærende funktioner uden at generere ekstra magnetiske felter. Den iboende ikke-magnetiske fordel ved granitsubstratet bevares fuldt ud, og hele maskinens elektromagnetiske miljø vil ikke blive kompromitteret af monteringsstrukturer.
Bortset fra ikke-magnetiske egenskaber virker denne materialefordel synergistisk med andre iboende egenskaber ved granit. Præcisionsinspektionsudstyr kræver normalt kontinuerlig langvarig-scanning. Vibrationer genereret af start-stop-motion-mekanismer og værkstedstemperaturudsving vil påvirke inspektionsresultaterne. Med en lav ekspansionskoefficient og fremragende dæmpningsydelse undertrykker granit mikro-vibrationer og termisk deformation, mens den isolerer magnetisk interferens og holder optiske og inspektionsmoduler stabilt placeret på referenceplatformen. Et enkelt materiale opfylder flere krav, herunder ikke-magnetisme, vibrationsreduktion og dimensionsstabilitet. Det forenkler det elektromagnetiske afskærmningsdesign af hele maskinen og fjerner mange ekstra magnetiske beskyttelses- og afmagnetiseringsstøttestrukturer.
Til fremstilling og levering af udstyr forenkler ikke-magnetiske granitkomponenter også arbejdsgange for kvalitetsinspektion. Metalbaser har brug for gentagne restmagnetismetest med professionelle instrumenter. Omarbejdning og afmagnetisering vil være påkrævet, når værdierne overstiger standarderne, hvilket forlænger produktionscyklussen. UNPARALLELED®-mekaniske dele i granit kræver ingen afmagnetiseringsbehandling før levering; kun geometrisk nøjagtighedsinspektion er nødvendig. En særlig procedure for inspektion af elektromagnetisk ydeevne er udeladt, hvilket forkorter den overordnede udviklingscyklus for udstyrsproducenter. I mellemtiden tiltrækker overfladen af ikke-magnetisk granit næppe metalliske mikro-partikler, hvilket mindsker forureningsrisici fra adsorberet metalaffald i støv-fri inspektionsværksteder og opfylder både krav til elektromagnetisk kompatibilitet og renlighed.
Det skal bemærkes, at ikke-magnetisk ikke betyder fuldstændig isolation fra stærke eksterne magnetiske felter. Hvis der er intense eksterne magnetiske kilder omkring udstyret, er tilsvarende elektromagnetisk afskærmningsdesign stadig nødvendigt. Værdien af granitkomponenter ligger i at eliminere magnetiseringsinterferens, der stammer fra selve basen, og fjernelse af udstyrets primære interne magnetiske kilde i stedet for fuldstændigt at blokere indtrængning af stærke eksterne magnetfelter. Så længe det elektromagnetiske layout af hele maskinen er korrekt designet, kan ikke-magnetiske granitreferencedele give deres fordele fuld udfoldelse.
Magnetisk interferens er en ikke-ubetydelig faktor for præcisionsinspektionsudstyr. Med naturlige ikke-magnetiske og ikke-magnetiserbare materialeegenskaber eliminerer UNPARALLELED® granitmekaniske dele interne magnetiske felter, der genereres af basen, og beskytter fotoelektriske og magnetiske-sansende præcisionsinspektionskomponenter mod magnetiseringsinterferens og reducerer signalforvrængning og fejlvurdering ved detektion. Kombineret med høj dimensionsstabilitet og vibrationsdæmpende ydeevne kan sådanne komponenter godt opfylde strenge specifikationer for optisk metrologi, halvlederinspektion og høj-metrologiudstyr, hvilket giver en ren og stabil referencelast-bærende løsning til præcisionsinspektionssystemer.